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ICM-E 系列集成电路电子级超纯水系统
骇思HyperPureX ICM-E系列集成电路电子级超纯水系统以严谨的合规性指导系统的设计
、制造
、安装和验证的全过程
，以模块化的设计集成了多介质过滤
、活性炭吸附
、软化
、二级RO2nd
、脱气
、EDI、超滤
、紫外杀菌和TOC降解
、树脂超纯化
、以及终端微滤各纯化单元
，广泛应用于半导体晶圆及液晶屏清洗
、芯片等各种精密电子元器件的加工和制造
。
