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ICM-E 系列集成电路电子级超纯水系统
ICM-E 系列集成电路电子级超纯水系统
骇思HyperPureX ICM-E系列集成电路电子级超纯水系统以严谨的合规性指导系统的设计
、制造
、安装和验证的全过程
，以模块化的设计集成了多介质过滤
、活性炭吸附
、软化
、二级RO2nd
、脱气、EDI
、超滤
、紫外杀菌和TOC降解
、树脂超纯化
、以及终端微滤各纯化单元
，广泛应用于半导体晶圆及液晶屏清洗
、芯片等各种精密电子元器件的加工和制造
。
水质标准
GB/T 11446.1-2013
、GB/T 33087-2016
、ASTM D1193-06等规定的水质标准
工艺路径
1. 预处理系统+二级反渗透RO2nd系统+脱气系统+EDI系统+超纯化系统+储存分配系统
性能特点
10“彩色触控屏及 PLC控制模块且具有物联网（IOT）和云平台功能的全自动控制系统
；
模块化设计理念
，结构紧凑
，便于操作及后期维护
；
整套设备可以完全排空设计
；
可根据客户原水水质优化调整工艺路线
；
系统内部部分浓水可回收
，可提高系统回收率至80%以上
；
确保过程检验
、质量监控
、验证文件符合用户需求
；
应用范围
液晶面板制作
、半导体晶圆
、芯片等各种精密电子元器件行业的加工和制造
上一个
：
ICM-P 系列 制药/生物技术纯化水系统
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：
不锈钢生物反应器
